真空泵用的油是一种专用油，叫作真空泵油。真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。
不同种类的真空泵油，其物理和化学性能是不同的，其化学成分、粘度、酸值和各种添加剂(抗磨剂、防腐剂、抗氧化剂、防锈剂)等主要成分和指标直接影响机件的运行，如果混合使用，其性能将会改变，这不仅关系到机件的使用寿命，有时甚至会因润滑不当而引发事故。
不同种类牌号、不同生产厂家、新旧泵油在一般情况下应尽量避免混用。同一厂家同类质量基本相近产品，或高质量泵油混入低质量泵油仍用于原使用的机器设备；同一厂家同种不同牌号产品在需要调整泵油的粘度等理化性能时可以混用。
一般的泵的说明书上都有推荐的专用泵油，那个是最合适的。没有的话，可以咨询厂家。对于普通的机械真空泵，油的选择是普通的真空泵油。